BASF Exactus® 系列測(cè)溫儀EX-C-7FL，紅外測(cè)溫儀測(cè)溫范圍100-1800℃，精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。適用于AIXTON G3, G4， G5以及國(guó)內(nèi)設(shè)備廠MOCVD的藍(lán)寶石光管紅外測(cè)溫系統(tǒng)

XACTUS®提供：

使用短波長(zhǎng)進(jìn)行低溫測(cè)量（25°C 或更高）

使用 200nm 紅外輻射測(cè)量低至 900°C 的單晶硅

精度高，分辨率高達(dá)0.001°C，精度高達(dá)1.5°C

速度高達(dá)每秒 1，000 個(gè)讀數(shù)

在任何給定波長(zhǎng)下具有寬動(dòng)態(tài)范圍

測(cè)溫重復(fù)性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC

精密度高, 分辨率達(dá) 0.01 oC , 測(cè)溫精度1.5 oC

典型應(yīng)用

硅晶生長(zhǎng)	薄膜沉積
激光/感應(yīng)焊接	玻璃加工
工業(yè)加熱